Zerspanen mit engen Toleranzen

Die Halbleiterproduktion umfasst eine Reihe hochkomplexer Fertigungsschritte, mit denen integrierte Schaltkreise auf Silizium-Wafern hergestellt werden. Unter anderem werden mit EUV-Lithografiesysteme extrem feine Strukturen auf die Wafer projiziert. Das System besteht aus Tausenden von hochpräzisen Aluminium- und Edelstahlkomponenten. Mit spiegelgatten Oberflächen. Die Einzelkomponenten werden in einer Vakuumkammer eingesetzt und müssen in Bezug auf Reinheit, Präzision, Stabilität und Vakuumdichtheit hohe Anforderungen erfüllen.

Eine Maschinenpalette ist ein Hilfsmittel in der Fertigungstechnik, das als Träger für Werkstücke oder Spannvorrichtungen dient. Die Palette ermöglicht das Spannen  und Positionieren von Werkstücken außerhalb der Maschine. Mit seiner hohen Festigkeit und Steifigkeit ist Stahl als Werkstoff für eine Maschinenpalette gut geeignet. In der Zerspanung von Stahl ist auf eine geeignete Schnittgeschwindigkeit, eine entsprechende Kühlung und stabile Spannverhältnisse zu achten, um Werkzeugverschleiß und Maßabweichungen zu vermeiden.